微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的研究與應(yīng)用

微機電系統(tǒng)是源于微電子加工技術(shù),融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統(tǒng).其特征尺寸極小,學科交叉廣泛;技術(shù)研究包括微系統(tǒng)理論、設(shè)計建模、微機械加工、微器件集成等多個方面;學科分類涵蓋了機械、力學、光學、流體、電磁學、生物學等各領(lǐng)域,在民品和軍品領(lǐng)域有許多熱點應(yīng)用.本文介紹了微機電系統(tǒng)發(fā)展概況、微機電系統(tǒng)技術(shù)關(guān)鍵、微機電系統(tǒng)有關(guān)傳感器,以及微機電系統(tǒng)熱點應(yīng)用和微機電系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展前景.

作 者： 高世橋 曲大成   作者單位： 高世橋(北京理工大學機電工程學院)

曲大成(信息科學技術(shù)學院,北京,100081) 

刊 名： 科技導報  ISTIC PKU 英文刊名： SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW  年，卷(期)： 2004 ""(4)  分類號： H TP TM O3  關(guān)鍵詞： 微機電系統(tǒng)   MEMS   微機械加工   智能控制  

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