數(shù)字全息顯微測量技術的發(fā)展與最新應用

數(shù)字全息顯微測量技術是檢測顯微樣本微觀結構的重要手段,具有系統(tǒng)簡單、非入侵、動態(tài)性好等特點,是一種很好地具有應用前景的技術.綜述了數(shù)字全息顯微測量技術的發(fā)展,分析并比較了數(shù)字全息顯微測量技術與其它顯微測量技術的特點;歸納并分析了數(shù)字全息顯微測量技術的典型光路系統(tǒng)及其特點;總結了數(shù)字全息顯微測量技術的數(shù)值再現(xiàn)算法和誤差抑制技術;列舉了數(shù)字全息顯微測量技術的最新應用.

作 者： 周文靜 于瀛潔 陳明儀 ZHOU Wen-jing YU Ying-jie CHEN Ming-yi   作者單位： 周文靜,ZHOU Wen-jing(上海大學,精密機械工程系應用光學與檢測實驗室,上海,200072;廣東海洋大學,信息學院自動化系,廣東,湛江,524088)

于瀛潔,陳明儀,YU Ying-jie,CHEN Ming-yi(上海大學,精密機械工程系應用光學與檢測實驗室,上海,200072) 

刊 名： 光學技術  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2007 33(6)  分類號： O438.1  關鍵詞： 光學測量   顯微結構測量   數(shù)字全息顯微技術   數(shù)值再現(xiàn)   誤差抑制  

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